光学轮廓仪

Profilm3D 和Profilm3D-200是价格实惠、技术先进

的光学轮廓仪。Profilm3D系列轮廓仪采用白光干涉

法( WLI )、相移干涉法( PSI )和增强型粗糙度模式

( Enhanced Roughness Mode )产生高质量的三维

表面测量、轮廓和真彩色图像。

新一代的Profilm3D平台旨在测量从最光滑的表面到高

度粗糙和陡坡的样品。该工具的灵活性可以实现从抛

光光学到微流体通道、电路板、生物样品、生物医学

设备、太阳能电池和微加工的测量。

功能

▪ 自动XY 样品台:

100mm x 100mm 行程 (Profilm3D)

200mm x 200mm 行程 (Profilm3D-200)

▪ 自动聚焦，100mm 行程

▪ Tip-tilt 样品台： ± 5° 行 程

▪ 四位物镜转塔

▪ 业界领先 500µm 压电行程

▪ 业界领先2mm视场范围10X物镜

▪ 高性价比

▪ 易于使用，软件界面直观

应用

▪ 台阶高度

▪ 表面粗糙度

▪ 沟槽和通孔的刻蚀深度 

▪ 尺寸测量：长度、角度、曲率半径

▪ 颗粒、晶粒

▪ 体积

▪ 轴承比

▪ 平面度

Profilm3D 可选功能

Profilm3D 应用

Profilm3D 软件功能

Profilm® 桌面分析软件

Profilm软件平台功能齐全，直观快捷，成本低。大多数功能已经包含在基础配置中，与竞争者相比，诸如拼接之类的高级功能更便宜。

图像处理功能

调平、标准/ FFT滤波、移除尖点、填充无效点、裁剪、旋转。

图像分析功能

台阶高度:直线、矩形和直方图方法；支持不同材料校正。

粗糙度： 线粗糙度和面粗糙度，支持3种标准ASME/EUR/ISO 47种粗糙度参数。

其他：尺寸、特征间距、体积、承载比、颗粒和颗粒等等。

图形接口

颜色比例（标准/自定义渐变）、3D照明选项、3D垂直比例控制等。

图像处理 – 手 动

记录图像处理流程，修改处理之后还能回到原始图像

图形处理 – 自 动

自定义recipes ，以进行定制测量。

ProfilmOnline®: 免费3D图像网络/移动应用程序

随时随地查看和分析您的3D图像！Profilm的几乎所有桌面图像查看和分析功能（包括拼接）都可以在rofilmOnline

上以低成本或免费获得。

ProfilmOnline是共享、存储、查看和分析3D图像的地方，无论您是使用计算机还是移动设备（提供免费的Android

 和iOS应用程序）。支持多种文件格式，包括AFM。（甚至还有SPM特定的图像校正和分析功能！）您只需单击一下

即可将图像从Profilm上传到ProfilmOnline。

提供图像加密功能，因此您的图像安全且保密。 或者，如果您有想要分享的图片，您可以将它们发布在我们的公共

图库中。 您还可以在我们的在线论坛中与3D成像社区互动。

Profilm3D 规格

1.典型值。

2.8µm 台阶。

3.精度为10µm台阶高度标准的30次测量的1σ ，连续20取1σ 的平均值。环境稳定至

1°C以内。稳定性为10µm台阶高度标准30 次测量日平均值2σ ，连续20天平均值1σ。

环境温度稳定在1°C以内。

4.数字化实现。所有变焦后的有效像素数目为648 x 484。

5.单独销售。

6.在样本上投影的像素大小。

7.测量粗糙表面上≥ 60° 的坡度，相机像素填充率≥ 50% 。

The KLA Instruments™ Family

KLA公司旗下的设备包括我们的Fabs和Labs缺陷检测和计量套件。Fab工具专为自动化和生产环境而设计，包括Candela®缺陷检测工具、自动化HRP®-260和Tencor™ P-170探针式轮廓仪、Zeta™-388自动化光学轮廓仪。实验仪器主要为台式计量系统，包括Alpha-Step® D系列和Tencor P系列探针式轮廓仪，Zeta-20和Zeta-300光学轮廓仪，纳米压痕仪产品；

Filmetrics测量设备套件，包括薄膜测量系统、R-50系列方块电阻测试仪和Profilm3D®光学轮廓仪。

Fabs

Labs