Zeta系列光学轮廓仪

Zeta-20 光学轮廓仪是一种非接触式 3D 表面形貌台式测量系统，

采用紧凑、坚固的封装。 该系统采用 ZDot™ 技术和多模光学器件，

能够测量各种样品：透明和不透明、低至高反射率、光滑至粗糙纹理，

以及从亚纳米到毫米的台阶高度。

Zeta-20 通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度测量以及

缺陷检测能力来支持研发和生产环境。

优势

• 快速，无接触的, 3D 轮廓仪

• 支持 3D 扫描、干涉对比、薄膜厚度和自动缺陷检测的多模式光学器件

• 全自动检测

• 同时进行 3D 扫描和真彩色无限对焦图像

捕获

• 可配置用于直径达 150 毫米的晶圆

• 手动或电动 XY 载物台和转台可选

• 直观的用户界面

应用

• 从纳米到毫米的台阶高度，包括高纵横比

•光滑（亚纳米）和粗糙（数百微米）表面的

粗糙度

•用于具有高分辨率 z 分辨率的广域台阶高度测量的白光干涉测量模式 

• 薄膜应力和样品的弓形

• 透明薄膜厚度从 30 nm 到 100µm，使用薄膜厚度映射模式

• 透明的多层表面，例如封装的微流体装置

• 自动缺陷检测，灵敏度 > 1µm（横向尺寸）

核心技术

ZDot™ 共焦网格结构照明技术是 Zeta-20 内部的zhuanli 3D 非接触式测量技术。 

网格图案投射在焦平面上，当表面清晰对焦时提供高对比度。 作为 z 位置函

数的每个像素的峰值对比度用于映射表面形貌。

同时，第二个 LED 用于在对比度峰值点提供表面的真彩色。 最终输出是高分

辨率 3D扫描和表面的真彩色无限聚焦图像。

多种光学模式

多模计量实现了灵活性和可升级性，将六种强大的技术整合到一个紧凑的光学封装中。

广泛的应用

光学和探针轮廓仪

使用我们的台式和自动晶圆处理光学和触针轮廓仪系列测量任何表面的形貌。