3维形象测量

概要

3维形象测量仪利用光的干涉，具备0.1nm高度分辨力，可以纳米单位轻松、快速、

准确地测量1nm~10mm的表面形象。相比接触式方式，不会对测量物

造成丝毫损害，且相比共焦方式，无关透镜倍率，具备相同的高度分辨率，

可准确测量，相比AFM方式，可快速测量更宽的领域。

特点

· 测量以0.1nm单位的高分辨率

· 可以多种FOV大小测量

· 无论倍数为多少，都具备相同分辨率

· 可测量透明、半透明、不透明等多种样品

· 可轻松、快速、精准地进行测量

· 具有Piezo@Closed loop的高可靠性

· 自带设备状态监测功能

· Gage R&R稳定

测量

ㆍ同时测量2D形象、3D形象

ㆍ测量高度、深度、段差、线、圆、弧、角度、幅度、距离

ㆍ测量面积粗糙度(ISO-25178)、线条粗糙度(ISO-4287)、波形

ㆍ测量刮痕、磨损、缺陷、截面面积、体积

应用领域