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紫外曝光、光刻领域博霆光电生产的大尺寸紫外光学薄膜器件主要用于紫外曝光机系统中，其中紫外反射镜采用线膨胀系数为(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做为基底，内表面精密数控加工成形
