
PPS-12PM系列 压电驱动平移台
说明:
PPS-12PM系列是一款超精密直线压电平台。负载高达2.5N(水平方向)。PPS-12PM可开环使用,也可通过直接编码器提高分辨率和重复性,实现1nm的分辨率以及50nm的重复性。PPS-12PM可通过安装Z轴标准安装支架实现Z轴运动。经过特殊处理后,可用于真空(10-9 mbar)和低温(4K)环境。
特点:
· 小体积大行程,行程可达4 mm
· 超高精密,闭环分辨率可以达到20 nm
· 负载可以达到0.25 Kg
· 可以使用在真空环境中(需要发货前特殊处理)
特别注意:
在进行产品选型时,要特别注意位移台在各方向的负载能力,
例Fz[N]=50,则表明此位移台在Z方向的负载为50N,水平使
用的时候中心负载为50N,具体参照(上)产品参数表以及(下)力
的方向示意图