探针式轮廓仪

P-7探针式轮廓仪是我们在P-17桌面探针式轮廓仪获得成功的市场地位之后打造的新一代仪器。

它涵盖了P-17先进的测量性能，能够为桌面探针式轮廓仪提供很高的性价比。

P-7系统包括一个无需拼接处理即可测量整个基板的150mm扫描台。UltraLite传感器组件将较

大的线性垂直范围与恒定力控制相结合，可测量各种材料和形貌。俯视视图光学系统可实现简

便的位置教学和模式识别，用户也可以使用侧面视图光学系统，以便在测量过程中实现探针的可视化。

P-7将自动化与高可靠性结合起来，以满足生产应用需求而无需使用晶片装卸器。这些应用包括

半导体、功率器件、无线、LED和数据存储的AITiC、GaAs、Si、SiC和蓝宝石晶圆的台阶高度测量、

粗糙度测量和应力计算。

系统优势

• 优异的重复性和再现性

• 150mm扫描长度(无需拼接)

• 接触式表面测量

• 稳定的载荷控制，始终保持恒力测量

• 图形识别功能支持全自动测量，提高生产效率

• SECS/GEM支持全自动测序、结果上传、程式数据库控制

主要应用

• 高分辨率的2D和3D表面形貌扫描

• 从纳米级到毫米级的台阶高度测量

• 粗糙度和波纹度测量

• 样品翘曲和曲率半径测量

• 薄膜应力测量(Stoney方程)

功能与选项概览

主要应用

行业应用广泛

硬件功能

软件功能

光学与探针轮廓仪

我们的一系列桌面式和产线自动化光学和探针式轮廓仪能够测量任何表面的形貌。