探针式台阶仪

Alpha-Step D-600 是新一代的 Alpha-Step 探针式台阶仪。 创新

的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量、大垂直范围和低力测量能

力。 接触式测量技术的一个优点是它可以直接测量，与材料特性无

关。 可调节的加载力和探针的选择可实现对各种结构和材料的精准

测量。 这些特征可以量化特征形貌以确定添加或移除的材料量，并

测量由材料结构变化引起的粗糙度和应力。

Alpha-Step D-600 配置包括一个手动 200 毫米载物台和具有增强视频

控制的高级光学器件。 Alpha-Step 结合了久经考验的技术能力和最

小的系统占用空间，适用于台式探针式台阶仪。 Alpha-Step 专为大

学、研究实验室和研究所设计，可为半导体和化合物半导体器

件、LED、太阳能、MEMS、汽车和医疗设备提供台阶高度、粗糙度

和应力测量。

优势

▪ 出色的重复性和再现性

▪ 直接，独立性测量

▪ 用于测量软材料的低力控制

▪ 梯形校正可消除侧视光学器件造成的图像失真

▪ 圆弧校正补偿探针的圆弧运动

应用

▪ 表面形貌的二维/三维扫描

▪ 台阶高度从纳米到1.2mm

▪ 光滑和粗糙纹理的粗糙度和波纹度

▪ 翘曲和曲率半径

▪ 使用 Stoney 方程的薄膜应力

应用

广泛的行业应用

硬件特性

软件

光学和探针式轮廓仪

使用我们的台式和自动晶圆处理光学和探针轮廓仪系列测量任何表面的形貌。 

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